PIN二极管的研究进展

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【摘要】

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制备PIN二极管的几种方法:扩散法、离子注入法、外延法和键合法.用各种方法制备PIN二极管的工艺过程.分析了各种方法的优缺点,着重比较了键合与外延方法制备PIN二极管.结果表

【作者】

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江利王建华黄庆安秦明

【机构】

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合肥工业大学理学院,东南大学MEMS教育部重点实验室

【出处】

：

电子器件

【发表日期】

：

2004年2期

【关键词】

：

PIN二极管离子注入扩散外延键合 PIN diode ion implantation diffusion epitaxy bonding

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制备PIN二极管的几种方法:扩散法、离子注入法、外延法和键合法.用各种方法制备PIN二极管的工艺过程.分析了各种方法的优缺点,着重比较了键合与外延方法制备PIN二极管.结果表明键合工艺制备PIN二极管不仅制造成本低,工艺简单,而且界面缺陷少,反向击穿电压高.所以用键合工艺制备PIN二极管可能成为未来主流制造技术.

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