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提出了一种硅片传输系统的预对准算法，根据线阵CCD采集的边缘电压数据并结合机械手的固有特性，计算出圆心坐标和切边位置，实现硅片的预对准。经过实验验证，该算法有效提高了预对准的可靠性和稳定性。
全自动探针台硅片传输系统的预对准算法研究
【摘 要】
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提出了一种硅片传输系统的预对准算法，根据线阵CCD采集的边缘电压数据并结合机械手的固有特性，计算出圆心坐标和切边位置，实现硅片的预对准。经过实验验证，该算法有效提高了预对
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十五研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2016年12期
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