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为了沉积出高硬度、低应力、高膜一基结合强度的类金刚石硬质薄膜，利用脉冲电弧离子镀技术在高速钢基底上制备类金刚石薄膜，采用退火、增加Ti过渡层、Ti离子轰击等方法减小DLC薄膜应力．结果表明：单层DLC薄膜的应力可达7．742GPa；以Ti为过渡层的DLC薄膜的应力减小为2．027GPa；对Ti／DLC薄膜进行退火热处理，薄膜应力减小到0．359GPa．利用Ti作过渡层，并且对薄膜进行退火处理，可以使DLC薄膜产生的高应力在Ti层中得到明显减小，提高膜一基结合力，增加硬度．