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聚乙烯氧（PEO）因其高亲水性和抗细胞黏附的特性，被视为理想的生物功能材料。目前，PEO的制备主要是采用物理、化学方法。为了探求等离子体技术在PEO制备中的应用，采用电容耦合等离子体化学气相沉积法（CCPECVD）和离子源辅助等离子体化学气相沉积法（IBPECVD），进行了PEO／PEG材料的制备实验。分析结果表明：采用等离子体化学方法可以制备出具有PEO结构的材料，不同的制备方法对材料的结构有一定的影响。