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本文概述了表面缺陷光电传感器的特点、原理和分类方法。论述了这类传感器的灵敏度和信噪比的估计方法,计算了1微米分辨能力的D、K数值。本文提出了一种区分缺陷类别的光学方法。最后,介绍了这类传感器的设计要点和及评定性能的方法。
表面缺陷光电传感器
【摘 要】
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本文概述了表面缺陷光电传感器的特点、原理和分类方法。论述了这类传感器的灵敏度和信噪比的估计方法,计算了1微米分辨能力的D、K数值。本文提出了一种区分缺陷类别的光学方
【机 构】
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重庆大学
【出 处】
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仪器仪表学报
【发表日期】
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1980年4期
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