【摘 要】
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用金属有机物化学汽相沉积（MOCVD）方法在蓝宝石衬底上制备了GaN单晶薄膜．并对样品进行X射线衍射和光致发光谱测量．利用GaN样品成功地制备了金属-半导体-金属（MSM）结构GaN紫外光电探
【机 构】
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厦门大学物理学系,厦门大学机电工程系
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用金属有机物化学汽相沉积（MOCVD）方法在蓝宝石衬底上制备了GaN单晶薄膜．并对样品进行X射线衍射和光致发光谱测量．利用GaN样品成功地制备了金属-半导体-金属（MSM）结构GaN紫外光电探测器，并对其I-V特性、光谱响应及击穿电压等性能进行测试和分析．结果表明．探测器在-5V偏压下的光电流与暗电流之比大于400倍；探测器光响应在352nm附近达到响应峰值，并在364nm附近出现截止，即具备可见盲特性；器件的光响应度最好达0．21A/W。
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