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In2O3薄膜及纳米颗粒制备进展
In2O3薄膜及纳米颗粒制备进展
来源 :材料导报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ynhappyma
【摘 要】
:
主要介绍了In2Os薄膜及其纳米颗粒的制备方法和特点,并比较了它们的优缺点.
【作 者】
:
王廷富
潘庆谊
程知萱
【机 构】
:
上海大学理学院
【出 处】
:
材料导报
【发表日期】
:
2001年8期
【关键词】
:
制备
三氧化二铟
薄膜
纳米颗粒
制备
真空热蒸镀法
原子层取向生长法
化学气相沉积液
溅射法
preparationindium oxidethin film
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主要介绍了In2Os薄膜及其纳米颗粒的制备方法和特点,并比较了它们的优缺点.
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