【摘 要】
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光栅衍射效率反映光栅的设计与刻划质量，对于使用者和制造者均至关重要。针对国内首台500mm×400mm中阶梯衍射光栅刻划机的研制，有必要构建相应的衍射效率测试系统，以定量评
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,中国科学院苏州医学工程技术研究所
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光栅衍射效率反映光栅的设计与刻划质量，对于使用者和制造者均至关重要。针对国内首台500mm×400mm中阶梯衍射光栅刻划机的研制，有必要构建相应的衍射效率测试系统，以定量评价光栅的制作水平，为光栅设计与制造工艺的改进提供必要的测试手段。基于串联色散相减原理，改进了常规C—T结构的测量单色仪光路，并对前置单色仪、测量单色仪光路进行联合优化，设计了待测光栅多维调整台、探测器组件等。提出了N．A．为0．1的三光栅扫描前置单色仪的标定方法，以及测试仪器的系统误差修正方法。前置单色仪标定结果表明，其在19
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