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微机电系统(MEMS)在光学领域中的应用是其最重要的应用之一,其原因不仅在于微机械技术能够改善光学系统的性能和功能,还因为这些光学微系统能够满足市场对光通信网络、数据存储和传感器的需求.本文以MEMS光开关等为例,讨论了基于MEMS技术的各种光电器件在光通信网络中的发展趋势.
MEMS／MOEMS在光通信中的应用
【摘 要】
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微机电系统(MEMS)在光学领域中的应用是其最重要的应用之一,其原因不仅在于微机械技术能够改善光学系统的性能和功能,还因为这些光学微系统能够满足市场对光通信网络、数据存
【出 处】
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光机电信息
【发表日期】
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2002年8期
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