【摘 要】
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研究了完全合金化和完全未合金化钛铝靶材的结构,并研究了采用磁控溅射法,通氮气与不通氮气条件下沉积涂层的成分、结构和性能,探讨了不同相结构钛铝靶材与其沉积涂层在成分
【机 构】
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钢铁研究总院,安泰科技股份有限公司,
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研究了完全合金化和完全未合金化钛铝靶材的结构,并研究了采用磁控溅射法,通氮气与不通氮气条件下沉积涂层的成分、结构和性能,探讨了不同相结构钛铝靶材与其沉积涂层在成分、结构和性能之间的关系。
The structure of completely alloying and completely unalloyed titanium-aluminum target was studied. The composition, structure and properties of the deposited coatings by magnetron sputtering, nitrogen and nitrogen-free were studied. The effects of different phase structures of titanium Relationship between composition, structure and properties of aluminum targets and their deposition coatings.
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