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利用自行设计的实验装置，开发出了合成3－异氰酸酯基丙基三乙氧基硅烷的新工艺流程，高收率和高纯度的获得了目标产品。工艺具有以下特点：设备结构简单、工艺流程简单、环境友好、易于操作。实现了在高真空低温状态下精馏产品，防止了高温物料发生聚合变质。新工艺实现了DMF的回收利用，大大的降低了生产成本，减少了废物的产生和排放，属于典型的绿色工艺。