Fe靶激光等离子体25～60nm波段光谱实验研究

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【摘要】

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以McPHERSON 247型掠入射软X射线-真空紫外单色仪配合5900 Magnum通道电子倍增器,测量了Fe靶在高真空环境下的纳秒激光等离子体25～60 nm波段的EUV光谱,单色仪理论光谱分辨率Δ

【作者】

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张大威齐立红李忠芳陈淑妍尼启良陈波

【机构】

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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,中国科学院研究生院

【出处】

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光学技术

【发表日期】

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2004年期

【关键词】

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激光等离子体 EUV 光谱测量谱线认证

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以McPHERSON 247型掠入射软X射线-真空紫外单色仪配合5900 Magnum通道电子倍增器,测量了Fe靶在高真空环境下的纳秒激光等离子体25～60 nm波段的EUV光谱,单色仪理论光谱分辨率Δλ≤0.038nm,波长扫描间隔0.1nm.在上述波段内测得了Fe VI及Fe V的强发射线丛,认证出14根强谱线.

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