High-Throughput Multi-Plume Pulsed-Laser Deposition for Materials Exploration and Optimization

来源 :工程（英文） | 被引量 : 0次 | 上传用户：fuyuanluyi13

【摘要】

：

A high-throughput multi-plume pulsed-laser deposition(MPPLD) system has been demonstrated and compared to previous techniques. Whereas most com binatorial pulse

【作者】

：

Samuel S.Mao Xiaojun Zhang

【机构】

：

DepartmentofMechanicalEngineering

【出处】

：

工程（英文）

【发表日期】

：

2015年3期

【关键词】

：

脉冲激光沉积优化材料羽流化合物库沉积速率薄膜制备高通量 pulsed-laser deposition high-throughput

【基金项目】

：

The authors would like to thank Dr. Paul E. Burrows for critical reading of the manuscript. This research was partially supported by the US Department of Energy.

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A high-throughput multi-plume pulsed-laser deposition(MPPLD) system has been demonstrated and compared to previous techniques. Whereas most com binatorial pulsedlaser deposition(PLD) systems have focused on achieving thickness uniformity using sequential

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