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在传统的洁净间气流管理管控的基础上,着重介绍了TFT LCD制造业用洁净室系统的特性,以及在TFT LCD制造行业普遍出现的重要异常气流问题,提供了针对性的有效气流改善实施方案,并确认了气流改善,产品良率改善的效果,提出了未来TFT LCD洁净间气流改善的主要发展方向。
通过LCD洁净间气流改善提升良品率
【摘 要】
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在传统的洁净间气流管理管控的基础上,着重介绍了TFT LCD制造业用洁净室系统的特性,以及在TFT LCD制造行业普遍出现的重要异常气流问题,提供了针对性的有效气流改善实施方案,
【机 构】
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北京京东方光电科技有限公司／高丽大学,北京京东方光电科技有限公司
【出 处】
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洁净与空调技术
【发表日期】
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2012年1期
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