Growth of Diamond Film by Hot-filament CVD and Its Interface Research

来源 :Journal of Materials Science & Technology | 被引量 : 0次 | 上传用户：YWJJK

【摘要】

：

1.IntroductionRecently,progress of vapour phasegrowth of diamond fihn under non-equilib-rium reaction condition has shown theprospect of its commercial producti

【作者】

：

黄荣芳陈岩李大明关一民闻立时师昌绪

【机构】

：

InstituteofMetalResearchAcademiaSinica,Shenyang,110015,China,InstituteofMetalResearch,AcademiaSinica

【出处】

：

Journal of Materials Science & Technology

【发表日期】

：

1992年2期

【关键词】

：

HF-CVD DIAMOND FILM INTERFACE REACTION HF-CVDdiamond filminterface reaction

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1.IntroductionRecently,progress of vapour phasegrowth of diamond fihn under non-equilib-rium reaction condition has shown theprospect of its commercial production in re-spect of effectiveness and economy.Theprocess proceeds in the thermodynamical

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