【摘 要】
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在不同氮流量下,利用微波-ECR等离子体溅射沉积技术在45#钢基体上制备了ZrN薄膜.XRD、TEM分析结果表明:随着充入N2流量的改变,薄膜结构由单一的ZrN结构向ZrN和ZrNx复合结构转
【机 构】
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大连理工大学三束国家重点实验室,大连理工大学三束国家重点实验室,中国工程物理研究院
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在不同氮流量下,利用微波-ECR等离子体溅射沉积技术在45#钢基体上制备了ZrN薄膜.XRD、TEM分析结果表明:随着充入N2流量的改变,薄膜结构由单一的ZrN结构向ZrN和ZrNx复合结构转变,然后出现非晶态结构.当N2流量在(2～8) sccm之间,薄膜为ZrN结构;在(10～12) sccm时,为ZrN和正交的ZrNx(a=0.3585 nm,b=0.4443 nm,c=0.5798 nm)混合型结构;14 sccm时出现非晶化趋势.俄歇电子谱仪(AES)和探针分析表明:薄膜中氮含量为7.73%～6
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