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阐述了光刻技术的发展及其分辨极限 ,对准分子激光光刻技术及其发展作了比较详细的论述。
微光刻技术的发展
【摘 要】
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阐述了光刻技术的发展及其分辨极限 ,对准分子激光光刻技术及其发展作了比较详细的论述。
【机 构】
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中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室!成都610209,中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室!成都610209,中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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2000年01期
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