【摘 要】
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介绍了采用单环微谐振器的光滤波器的基本原理,详细介绍了旋转抛涂法、真空蒸发法、光刻及反应离子刻蚀法等制备微环谐振器的工艺过程。波导包层材料采用甲基丙稀酸甲酯-甲基
【机 构】
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吉林大学电子科学与工程学院集成光电子学国家重点联合实验室,吉林大学电子科学与工程学院集成光电子学国家重点联合实验室,吉林大学电子科学与工程学院集成光电子学国家重点联合实验室,吉林大学电子科学与工程学院
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介绍了采用单环微谐振器的光滤波器的基本原理,详细介绍了旋转抛涂法、真空蒸发法、光刻及反应离子刻蚀法等制备微环谐振器的工艺过程。波导包层材料采用甲基丙稀酸甲酯-甲基丙稀酸环氧丙酯共聚物,以双酚A环氧树脂为高折射率调节剂,采用二者在共聚物中的不同配比来调节芯层材料的折射率。最后给出了实验结果。
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