【摘 要】
：
ITO(氧化铟锡)薄膜是一种重掺杂、 高简并的N型半导体材料,具有较高的可见光透过率、 导电率、 机械物理硬度和稳定的化学性质.由于工艺设备和技术参数的不一致,导致沉积ITO
【机 构】
：
佛山科学技术学院物理与光电工程学院 广东 佛山 528000佛山市国星半导体技术有限公司 广东 佛山 528000;
论文部分内容阅读
ITO(氧化铟锡)薄膜是一种重掺杂、 高简并的N型半导体材料,具有较高的可见光透过率、 导电率、 机械物理硬度和稳定的化学性质.由于工艺设备和技术参数的不一致,导致沉积ITO薄膜的物理光电性质和原子结构产生较大差别.本文在O2和N2配比气氛下进行退火处理条件,制备了不同膜厚ITO薄膜,研究了退火处理温度、时间、气氛配比和膜厚对ITO薄膜结构与性能的影响.结果表明:在一定的退火温度内,较高的退火温度有利于提高ITO薄膜透过率,ITO薄膜的晶体结构随着沉积温度的上升更完善.较长的退火时间有利于ITO薄膜与O2充分反应,有利于提高ITO薄膜透过率,降低面电阻,快速热退火的最佳时间为210s.当氮气氧气流量比为99:1时,薄膜的透过率最高,且热量分布均匀.
其他文献
该文首先引入网络的构建,介绍了主从分布式485总线的优点和选择的依据,并分析了以485总线为驱动构建网络给可靠性带来的不利因素和解决办法,分析了采用双绞线的原因和在施工
该论文研究工作包括电流变的机理研究和应用研究两个方面.通过对电流变液现有电导模型、界面极化模型和双电层极化模型的讨论,认为电导模型更适用于高剪切强度的电流变效应;
新生儿坏死性小肠结肠炎(necrotizing enterocolitis，NEC)是好发于新生儿尤其早产、低出生体重儿的胃肠道急症，主要表现为肠壁局部或全层的炎性损伤甚至坏死，与早产、配方奶喂养
房地产电子档案管理虽然逐渐形成了规模,但随着互联网技术的不断提升,很多原有的档案管理方法已经不再适用.本文阐述了运用互联网信息技术管理房地产档案的优势,提出改革并健
＂二次函数的图象与性质＂是初中数学教材的教学内容，其中有关图象的平移内容，学生学习时经常会出现方向判断错误。用人教版教材＂图象和性质＂的方法与＂二次函数模型的图像和性质＂进行对
随着网络技术的普及和应用，特别是国家对网络教学设备和资源的大力投入，多媒体教学技术的发展正呈迅雷之势，并且正在农村学校教学过程中发挥起不可低估的作用。但是也还有不少教师对多媒体教学的认识与使用存在着不足之处。这里特地针对农村中学多媒体教学中所存在的问题，谈一谈应该处理好的四对关系。 一、课件和教材的关系 多媒体教学往往借助网络的资源，通过声情并茂的课件，呈现知识的内在结构和规律，课堂教学的环节
论文以建立高质量的传动部件仿真试验系统为目标,对采用液压次级调节技术的车辆传动系仿真试验系统进行了深入的理论和实践研究.对作为仿真试验系统执行机构的液压次级调节加
水力旋流器是一种以离心沉降为基本工作原理的分离、分级设备.旋流分离作为一种低成本的分离技术,近年来日益得到了人们的关注.建立旋流器数学模型对于推广使用旋流分离技术,
一、寻求废弃类的种植场园我们有不用农药的种植技术(这是比国家有机标准更超前的技术),同时也为了尽快强大自己和解决目前资金薄弱的问题,现特寻求有一定面积(最低一百亩以
机器人学的研究一直是科技发展比较活跃的领域之一，机器人的关节作为机器人的关键组成部分，其性能的好坏直接影响机器人的性能。因此对关节的性能检测就变得越来越重要。 首