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本文主要阐述研制微米／亚微米测试校正版的意义，在研制过程中解决电子束邻近效应、拼接校正、等离子刻蚀、测试技术等几个关键技术问题。完成了多功能、大范围、高精度、边缘较好的微米／亚微米校正版。通过测试、分析可以应用于各单位的条宽测量仪器的校正，解决了ＣＤ尺寸测试中存在的系统误差问题。这项技术对我公司以及外协单位条宽测试仪的ＣＤ尺寸值统一有着重大意义。