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圆片冲击法测定硅片抗弯强度的研究
圆片冲击法测定硅片抗弯强度的研究
来源 :力学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:szhzm4158
【摘 要】
:
提出了一种新的使用圆片试样及冲击加载的硅片抗变强度测试方法,结合动能定理和薄板不挠度理论推导了变强度的计算公式,测试结果准确,精度好。
【作 者】
:
谢书银
石志仪
【机 构】
:
中南工业大学应用物理系
【出 处】
:
力学学报
【发表日期】
:
1995年3期
【关键词】
:
抗弯强度
硅片
冲击载荷
弯曲试验
脆性材料
flexure strengtht silicon wafer
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提出了一种新的使用圆片试样及冲击加载的硅片抗变强度测试方法,结合动能定理和薄板不挠度理论推导了变强度的计算公式,测试结果准确,精度好。
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