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考虑了光在固体浸没透镜（SIL）和观测样品之间的薄膜的厚度效应，应用矢量衍射理论研究了半球形SIL系统的光场分布。分析和计算指出，光斑的强度、边瓣强度和光斑大小随薄膜的厚度发生振荡。当厚度一定时，在样品内表面附近，随着离开界面的距离的增加，光斑大小和边瓣强度基本不变，但光强先增大后减小，焦点略微向样品内迁移。薄膜材料的折射率与SIL的折射率相匹配时成像效果较好、分辨率较高。