入射角对激光散斑测量表面粗糙度的影响

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观察了当相干激光以不同入射角照射4个等级的平磨和外圆磨样块时记录的散斑图像中散斑强度的变化.通过分析可知对比度与表面粗糙度之间存在密切的关系,入射角又直接影响对比度,不同的入射角适合不同的加工方法和测量范围.因此找到合适的入射角可提高实验系统的精度和分辨率.
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