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分析了硅压力传感器的线性与非线性,讨论了非线性产生的原因,并提出了硅压力传感器的优化设计方法.
硅压力传感器的非线性分析及优化设计
【摘 要】
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分析了硅压力传感器的线性与非线性,讨论了非线性产生的原因,并提出了硅压力传感器的优化设计方法.
【机 构】
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辽宁大学物理系沈阳市
【出 处】
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传感技术学报
【发表日期】
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2003年1期
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