【摘 要】
：
在制造红外热释电探测器阵列过程中，需要利用超薄钽酸锂（LiTaO3）晶片作为红外热释电探测器件的敏感层。通常LiTaO3晶片的厚度远厚于红外热释电探测器件要求的厚度，所以需要采用键
【机 构】
：
西安工业大学光电微系统研究所,华中光电技术研究所
论文部分内容阅读
在制造红外热释电探测器阵列过程中，需要利用超薄钽酸锂（LiTaO3）晶片作为红外热释电探测器件的敏感层。通常LiTaO3晶片的厚度远厚于红外热释电探测器件要求的厚度，所以需要采用键合减薄技术对LiTaO3晶片进行加工处理。键合减薄技术主要包括：苯并环丁烯（BCB）键合、铣磨、抛光、加热剥离、刻蚀BCB。加工后得到面积为10mm×10mm、厚度为25μm的超薄单晶LiTaO3薄膜，晶片厚度、表面粗糙度和面形精度比较理想。测得了LT晶片减薄后的热释电系数为1．6×10^-4 Cm^-2K^
其他文献
现有的大学英语教学中,普遍存在着片面强调教师职能,忽视学生主动性的情况。讨论式教学法作为一种以启发式教学为主,强调学生主体性的教学法,恰好能够从根源上解决这一根深蒂
<正> 在中国历史上,可称得上世界级港口城市的屈指可数,泉州港是其中之一。尤其在中世纪的宋元时期,泉州作为“世界最大港口”达200多年之久,这在中国历史上是少见的。多年来
目的探讨藤黄酸对人结肠癌SW480细胞裸鼠移植瘤生长和肿瘤血管生成的抑制作用及藤黄酸对血管内皮生长因子受体2(VEGFR2)表达的影响,初步探讨藤黄酸抗结直肠癌的作用机制。方
目的 考察中国癫痫患者卡马西平的群体药动学参数。方法 癫痫病例来自上海、北京两地 4所医院 ,采集服用卡马西平的 5 92例患者的稳态血药浓度 (n =70 3)。NONMEM程序估算
目的观察鼻腔填塞对患者饮食及睡眠的影响,以便有针对性地做好预防护理。方法采用查体法和问卷调查法对130例鼻腔、鼻窦手术行鼻腔填塞患者术前1 d、术后48 h的体温、脉搏、
回 回 产卜爹仇贱回——回 日E回。”。回祖 一回“。回干 肉果幻中 N_。NH lP7-ewwe--一”＄ MN。W;- __._——————》 砧叫]们羽 制作:陈恬’＃陈川个美食
Back to yield
<正>韩少功是个不迷信宏大叙事的作家。从《马桥词典》到《山南水北》,韩少功似乎更擅长在词条式,关键词式的细部雕琢之中建构他的总体性。历史的连续性、逻辑性,编年史的科
在当今全球化的世界中,各国相互依存逐渐加深,近年来中国领导人在世界重要场合中发表许多演讲,引起了世界广泛关注,然而对广大口译工作者来说会议口译仍然是一个巨大挑战,目
汽轮机安装具有一定的技术性,有一定难度,实际的安装操作中必须积极克服机组振动问题,掌握汽轮机的安装技术,控制安装中的振动问题,才能确保汽轮机的安全使用,提高其运行效率