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介绍了一种利用氦离子化检测器（PDHID）、傅立叶红外光谱检测器（FTIR）分析六氟化钨中微量四氟化碳、氧＋氩、氮、二氧化碳、一氧化碳、四氟化硅、六氟化硫、氟化氢的方法。经过方法验证证明，该方法能够达到较高的准确度和精密度。
六氟化钨中杂质含量的测定
【摘 要】
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介绍了一种利用氦离子化检测器（PDHID）、傅立叶红外光谱检测器（FTIR）分析六氟化钨中微量四氟化碳、氧＋氩、氮、二氧化碳、一氧化碳、四氟化硅、六氟化硫、氟化氢的方法。经过方法
【机 构】
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中国船舶重工集团公司第七一八研究所,上海华爱色谱分析技术有限公司,西南化工研究设计院
【出 处】
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低温与特气
【发表日期】
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2013年5期
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