六氟化钨相关论文
六氟化钨是钨的氟化物中唯一稳定且被工业化应用的品种,它在电子工业、化学气相沉积技术、材料工业等领域应用广泛,本文主要介绍了......
本文介绍了六氟化钨的性质、应用及目前的发展状况,针对六氟化钨区别于其它电子气体的特殊性质,综述了对其中所含气体杂质和金属粒......
传统的制备钨涂层方法包括:等离子喷涂、热喷涂、熔盐电镀、物理气相沉积、化学气相沉积等。其中,化学气相沉积以钨涂层纯度和致密......
六氟化钨(WF6)在室温下是一种无色、无嗅的有毒气体,对呼吸道、眼睛和皮肤有强烈的刺激和腐蚀作用,在空气和水中迅速水解生成三氧化......
学位
介绍了六氟化钨的性质、应用及目前的发展状况,针对六氟化钨区别于其它电子气体的特殊性质,综述了对其中所含气体杂质和金属粒子的......
为了测定液态六氟化钨中的金属粒子含量,自行设计了一个密闭的半定量取样管路,以准确地完成对六氟化钨中金属粒子的取样。取样完成后......
结合六氟化钨的性质,对六氟化钨中的金属粒子进行分析。由于六氟化钨具有腐蚀性而且遇水迅速反应生成三氧化钨和氟化氢,同时金属粒子......
本文结合WF6的性质,对超高纯(99.999%)WF6中的金属粒子进行分析。由于WF6具有腐蚀性,而且遇水迅速反应生成WO3和HF,同时金属粒子密度大,只......
本文结合六氟化钨的性质,对高纯六氟化钨中的金属粒子进行分析。本文设计了一个密闭的半定量取样管路,可以准确的完成对六氟化钨中......
采用吸附-精馏-鼓泡联用纯化系统对WF6进行纯化。通过吸附除去WF6中的氟化氢杂质;设计精馏塔进行精馏实验除去其他轻组分杂质,并同......
随着电子工业迅速发展,六氟化钨被广泛应用于半导体行业,其需求量日益扩大,对其纯度要求也越来越苛刻。综述了现有六氟化钨最常用......
介绍了一种利用氦离子化检测器(PDHID)、傅立叶红外光谱检测器(FTIR)分析六氟化钨中微量四氟化碳、氧+氩、氮、二氧化碳、一氧化碳、四......
采用红外光谱法对六氟化钨(WF6)中的氟化氢(HF)进行定量分析,HF共有8个吸收峰,考虑定量的灵敏度及避免测定干扰,选择波数4 039.2 c......
介绍了特种气体六氟化钨的性质、用途,并着重阐述了六氟化钨的合成方法及六氟化钨的净化工艺,指出了六氟化钨的发展前景及我国研究开......
采用气相色谱-放电离子化检测器分析超高纯六氟化钨中微量杂质气体的含量。自行设计了一套反吹双通路分析系统,当六氟化钨中的气相......
对高纯六氟化钨制备过程中,采用综合措施抑制电解制氟时氟化氢的挥发、球状氟化钠吸收氟化氢、液氮冷冻固化氟化氢而提纯氟气、六......
介绍了国外六氟化钨的制备和精制工艺进展,重点描述了电子工业中应用的高纯度六氟化钨的制备工艺.同时介绍了六氟化钨的性质、产品......
利用气相色谱法,分析六氟化钨中微量气体杂质的含量。由于六氟化钨有很强的腐蚀性,在对其进行分析时,要对气相色谱仪进行改造。本......