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期刊论文
交流光栅位置检测系统
交流光栅位置检测系统
来源 :西安理工大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:luhaohui923
【摘 要】
:
研究了一种光调制交流光栅位置检测系统,它是一种交流系统,抗干扰能力强,细分电路简单,并可获得高的细分数,大大提高了光栅测试系统分辨率.
【作 者】
:
杨秀芳
郭彦珍
【机 构】
:
西安理工大学机械与精密仪器工程学院
【出 处】
:
西安理工大学学报
【发表日期】
:
2001年3期
【关键词】
:
光调制交流光栅
位置检测
锁相倍频细分
light modulation alternative grating positional detection ph
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研究了一种光调制交流光栅位置检测系统,它是一种交流系统,抗干扰能力强,细分电路简单,并可获得高的细分数,大大提高了光栅测试系统分辨率.
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