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基于微机电系统（MEMS）技术的薄膜体声波谐振器（FBAR）在无线通讯领域取得了巨大的成功后，由于其具备厚度薄，体积小，与Ic兼容及谐振频率和灵敏度都远高于传统的微质量传感器（如石英晶体微天平）等优势，逐渐在微生物分子检测方面崭露头角。由于微生物分子大都生存于液体环境，而纵波模式下FBAR微质量传感器在液体环境中声波损耗大，其品质因数Q值只有3．53。因此，该文在分析了纵波模式下FBAR微质量传感器在气相和液相环境中的特性后，针对液相环境中传感器Q值较低问题，设计了一种具有微通道的FBAR微质量传感器，使