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通过改变AFM阳极诱导氧化加工点结构时的偏压和脉冲时间，发现氧化点高度和宽度与所施加偏压呈对数关系，并且发现氧化点高度与宽度与脉冲时间呈指数关系．同时，在环境温度和氧气浓度保持不变的条件下通过改变加工中的相对大气湿度，研究了大气湿度对所加工氧化点结构的高度和宽度的影响，即氧化点的高度和宽度都随着相对湿度的增加而增加。通过实验，发现扫描速率为1μm/s、所施加偏压为7V、脉冲时间为1s、相对湿度为40％左右时所加工结构较为理想．