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本文讨论了制造Ｓｐｉｎｄｔ型聚焦场发射阵列ＦＦＥＡ过程中需要的对准技术，提出了具有自对准能力的刻蚀方法，满足了聚焦型发射阵列的聚焦极与门极的精确对准。比较了传统方法与新方法的不同，具体论述了整个工艺过程，并对制备出的器件进行了ＳＥＭ观测，结果达到了预想的目标。
场发射阵列中聚焦电极制备的自对准技术
【摘 要】
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本文讨论了制造Ｓｐｉｎｄｔ型聚焦场发射阵列ＦＦＥＡ过程中需要的对准技术，提出了具有自对准能力的刻蚀方法，满足了聚焦型发射阵列的聚焦极与门极的精确对准。比较了传统方法与新方法的不同，具体论
【机 构】
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清华大学电子工程系,大连铁道学院电信分院
【出 处】
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电子学报
【发表日期】
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2000年12期
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