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北京有色金属研究总院有研半导体材料股份有限公司张厥宗编著的《半导体材料硅单晶抛光片的加工技术》一书近期将由《化学工业出版社》出版。
《半导体材料硅单晶抛光片的加工技术》
【摘 要】
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北京有色金属研究总院有研半导体材料股份有限公司张厥宗编著的《半导体材料硅单晶抛光片的加工技术》一书近期将由《化学工业出版社》出版。
【出 处】
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稀有金属
【发表日期】
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2005年3期
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