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集成电路测试是集成电路产业链中的一个重要环节,而集成电路测试系统是实现集成电路测试必不可少的工具。本文首先介绍了集成电路测试系统的测试内容和基本架构,随后结合全球专利申请情况分别对集成电路测试系统三个主要改进方向(探针卡和测试冶具的改进、测试板卡的改进以及整个测试系统架构总成的改进)的发展历程、趋势以及前景进行详细地分析,最后,本文给出了集成电路测试所面临的挑战。