【摘 要】
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<正>当今世界半导体集成电路的发展日新月异,成为整个新技术革命中发展最快,规模最大,渗透力最强的领域。可以毫不夸张地说,集成电路技术是各学科各种高技术的综合体现,集中
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<正>当今世界半导体集成电路的发展日新月异,成为整个新技术革命中发展最快,规模最大,渗透力最强的领域。可以毫不夸张地说,集成电路技术是各学科各种高技术的综合体现,集中反映了现代科技的最新成果和发展方向。它已经成为衡量一个国家生产力水平和社会发展水平的重要标志。有关专家预测,到本世纪末,21世纪初,以集成电路为代表的半导体产业规模将超过目前机电工业的第一大产业汽车工业,成为全球第一大产业。 集成电路这种高速发展的势头主要是依靠工艺技术的进步以及设计思想、设计方法、材料和设备等的巨大进展。目前它
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