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提出了一种测量横向位移的微型反射式光纤传感器,可用于测量物体相对传感器轴线垂直方向的微位移变化量。从光纤出射光场的光强分布函数出发,用数值积分的方法求解出了反射式横向位移传感器的光强调制曲线,进而设计了光纤传感探头和电路。结果表明,传感器的测量线性范围是1mm,分辨率达1μm。
微型反射式横向位移光纤传感器研究
【摘 要】
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提出了一种测量横向位移的微型反射式光纤传感器,可用于测量物体相对传感器轴线垂直方向的微位移变化量。从光纤出射光场的光强分布函数出发,用数值积分的方法求解出了反射式横向位移传感器的光强调制曲线,进而设计了光纤传感探头和电路。结果表明,传感器的测量线性范围是1mm,分辨率达1μm。
【机 构】
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清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
【出 处】
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光电子·激光
【发表日期】
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2003年06期
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