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期刊论文
金属薄膜压敏技术探讨
金属薄膜压敏技术探讨
来源 :仪表技术与传感器 | 被引量 : 0次 | 上传用户:suals
【摘 要】
:
本文详细讨论了金属薄膜传感器技术与其它技术的优劣比较,金属薄膜压力传感器的基本结构、生产工艺及其应用情况。
【作 者】
:
谢大刚
【机 构】
:
美国纽约GP:50有限公司
【出 处】
:
仪表技术与传感器
【发表日期】
:
1996年1期
【关键词】
:
薄膜压敏技术
金属薄膜
传感器
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本文详细讨论了金属薄膜传感器技术与其它技术的优劣比较,金属薄膜压力传感器的基本结构、生产工艺及其应用情况。
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