【摘 要】
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美国热电子公司可用X射线光电子光谱仪（XPS）定量地测定固体材料表层几纳米厚的材料化学成分。这种K-α仪器拓展了XPS技术的应用范围，用户可以方便、可靠和自动地用于分析绝缘材
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美国热电子公司可用X射线光电子光谱仪（XPS）定量地测定固体材料表层几纳米厚的材料化学成分。这种K-α仪器拓展了XPS技术的应用范围，用户可以方便、可靠和自动地用于分析绝缘材料、半导体和金属材料。这种电子光学技术具有高灵敏性．不仅可用于观察传统材料复杂表面的化学性能，还可推广应用于生物技术和纳米技术工业领域。
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