应变量子阱传输矩阵法设计及MOCVD外延制备

来源 :固体电子学研究与进展 | 被引量 : 0次 | 上传用户:flywate
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借鉴光波导设计的传输矩阵法思想,引入传输矩阵方法进行量子阱设计的应用,以980 nm半导体激光器用的应变量子阱为例,利用MOCVD外延生长技术设计生长了InGaAs/GaAs应变量子阱结构,测量PL谱峰值波长与设计波长吻合,X双晶衍射仪标定的量子阱组分和厚度基本与设计一致,从而验证了传输矩阵法用于量子阱设计是一种有效快捷的方法.
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