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研究了用MOCVD法在蓝宝石（Al2O3）（0001）和（1120）衬底上制备ZnO薄膜时的生长特性．详细研究了采用Al2O3（0001）衬底时生长温度与压力的影响．由于存在比较大的晶格失配，一般容易得到ZnO纳米结晶，不容易获得既平坦且质量又好的ZnO薄膜．生长温度对薄膜．衬底界面的生长模式有很大的影响；而生长压力对ZnO纳米结晶的形状有决定性作用．通过适当控制生长温度及压力，可以得到ZnO薄膜或不同形状的纳米结构．当采用Al2O3（1120）衬底时，由于晶格失配较小，能保持平坦层状生长，临界膜厚远远大