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在超精密加工中,用多测头方法测量工件直线度时,需要采用误差分离的方法分离出溜板的运动误差,并用一定的算法重构工件表面的直线度.介绍了现有的各种算法,提出了两种新的无理论误差的精确算法以重构工件的直线度.该算法适应于两点法或三点法测量长短工件,能评价任意(包括光滑、非光滑、周期和非周期等)表面,并允许采用大的测头间距.仿真及实测结果表明了算法的优越性,并采用该方法对自研的大理石超精密机床的直线度进行了检测.