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介绍了用显微镜分析法和场发射扫描电子显微镜分析法,分析TFT玻璃基板中铂铑缺陷的特征形貌,分析判定该缺陷的物质结构以及类型,为铂铑缺陷判断提供参考和判定依据,积累玻璃缺陷的分析经验。
TFT玻璃基板中铂铑缺陷的分析与判定
【摘 要】
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介绍了用显微镜分析法和场发射扫描电子显微镜分析法,分析TFT玻璃基板中铂铑缺陷的特征形貌,分析判定该缺陷的物质结构以及类型,为铂铑缺陷判断提供参考和判定依据,积累玻璃
【机 构】
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蚌埠中光电科技有限公司,中建材蚌埠玻璃工业设计研究院有限公司
【出 处】
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玻璃搪瓷与眼镜
【发表日期】
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2021年4期
【基金项目】
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国家重点研发计划(2016YFB0303704)
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