【摘 要】
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浮栅存储器是一种重要的微电子器件,已得到了广泛的应用。为了使学生在微观尺度下观察和研究浮栅存储结构的存储特性,设计了基于开尔文力显微镜(KFM)的探究性实验。实验内容
【机 构】
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南京邮电大学电子与光学工程学院,南京大学电子科学与工程学院
【基金项目】
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江苏省自然科学基金项目(BK20160909);江苏省教育科学“十三五”规划青年专项重点课题(2016-ZX0111-00578);南京邮电大学科研启动基金项目(NY215039)
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浮栅存储器是一种重要的微电子器件,已得到了广泛的应用。为了使学生在微观尺度下观察和研究浮栅存储结构的存储特性,设计了基于开尔文力显微镜(KFM)的探究性实验。实验内容包括试样准备、KFM测试和结果与讨论等,最后根据KFM测试结果与半导体器件物理知识,定量分析出存储电荷的面密度大小。该实验有助于加深学生对浮栅存储器工作原理的理解,激发学生的学习兴趣,提高学生的研究能力。
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