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介绍了一种用于晶体硅光伏电池片工艺的软着陆洁净闭管扩散炉，着重介绍了设备结构组成及性能．并给出了工艺结果说明设备性能达到国内领先水平。
软着陆洁净闭管扩散炉研制
【摘 要】
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介绍了一种用于晶体硅光伏电池片工艺的软着陆洁净闭管扩散炉，着重介绍了设备结构组成及性能．并给出了工艺结果说明设备性能达到国内领先水平。
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十八研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2010年2期
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