力学薄膜的多层化强化

来源 :机械工程材料 | 被引量 : 0次 | 上传用户：DJ_BOY

【摘要】

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采用多层膜系是进一步提高诸如TiN等力学薄膜性能的有效方法之一.综述了有关方面的研究情况.目前已经投入应用的各种氮化物薄膜是最简单的多层膜的原型,其内设的过渡层可改善

【作者】

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谢致薇王国庆蒙继龙

【机构】

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华南理工大学机械电子工程系,广东工业大学轻工化工学院,华南理工大学机械电子工程系

【出处】

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机械工程材料

【发表日期】

：

2001年7期

【关键词】

：

多层膜过渡层力学薄膜力学性能 multilayer transition layer mechanical film film mechanical

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采用多层膜系是进一步提高诸如TiN等力学薄膜性能的有效方法之一.综述了有关方面的研究情况.目前已经投入应用的各种氮化物薄膜是最简单的多层膜的原型,其内设的过渡层可改善膜/基附着力;多层膜性能与组层结构有关,适当的层间厚度(调制周期)可显著提高多层膜的力学性能,适当的亚层组合可获得同时兼具高硬度和良好韧性的力学薄膜.

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