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本文报道了一种由液氮低温吸附泵、真空计、样品室和真空度控制装置等组成的小型人获得系统，体积仅为２８ｃｍ×３０ｃｍ×３０ｃｍ。系统可连续提供１０＾－２Ｐａ到几百帕量程的真空环境，也可扩散到万帕超宽压强范围，十分适合于微陀螺传感器的检测和实验研究。１０＾－２Ｐａ的极限真空环境，可保持２ｈ以上。
用于微陀螺性能检测的小型、无干扰真空获得系统
【摘 要】
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本文报道了一种由液氮低温吸附泵、真空计、样品室和真空度控制装置等组成的小型人获得系统，体积仅为２８ｃｍ×３０ｃｍ×３０ｃｍ。系统可连续提供１０＾－２Ｐａ到几百帕量程的真空环境，也可扩散到万帕超宽
【机 构】
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南京电子器件研究所,北京大学微电子所
【出 处】
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真空电子技术
【发表日期】
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2000年6期
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