【摘 要】
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本文用光谱分析的方法研究低温反应射频溅射生长的A1N薄膜。结果表明,薄膜的红外吸收谱在700cm~(-1)处有一吸收带,与块状晶体相同,因此有较宽的红外透过区。热处理后红外谱无
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本文用光谱分析的方法研究低温反应射频溅射生长的A1N薄膜。结果表明,薄膜的红外吸收谱在700cm~(-1)处有一吸收带,与块状晶体相同,因此有较宽的红外透过区。热处理后红外谱无明显变化。薄膜的紫外吸收谱表明:禁带宽度为5.9～6.0eV,在N_2中热处理后,吸收过不发生平移,禁带宽度也不发生变化。在O_2中处理两小时后,禁带宽度减小到5.7eV。所有热处理都使非指数尾部变化。
In this paper, the spectral analysis of low temperature reactive RF sputtering growth of A1N film. The results show that the infrared absorption spectrum of the film has an absorption band at 700cm ~ (-1), which is the same as that of the bulk crystal and therefore has a wide infrared transmission region. Infrared spectrum after heat treatment no significant change. The UV absorption spectrum of the film shows that the band gap is 5.9-6.0eV. After heat treatment in N 2, the absorption does not shift and the band gap does not change. After two hours of treatment in O 2, the band gap was reduced to 5.7 eV. All heat treatments change the non-exponential tail.
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