基于La0．7Sr0．3FeO3的微结构乙醇气体传感器的研制

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：kfsoft2000

【摘要】

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以La0.7Sr0.3FeO3为敏感材料，设计制成了一种新型的共平面结构气体传感器．基于有限元分析软件Ansys对该传感器结构进行了优化设计．实验测得该传感器对于500ppm浓度乙醇气体的灵

【作者】

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刘丽张彤漆奇陈维友徐宝琨

【机构】

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吉林大学电子科学与工程学院,吉林大学物理学院朝阳校区物理中心

【出处】

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半导体学报

【发表日期】

：

2007年4期

【关键词】

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La0.7Sr0.3FeO3 纳米材料微结构低功耗乙醇气体传感器 La0.7Sr0.3FeO3 nano material micro-struc

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以La0.7Sr0.3FeO3为敏感材料，设计制成了一种新型的共平面结构气体传感器．基于有限元分析软件Ansys对该传感器结构进行了优化设计．实验测得该传感器对于500ppm浓度乙醇气体的灵敏度为8．0，功耗为261mW，是同种敏感材料烧结型传感器功耗的2／3，响应时间约为1．5s，恢复时间约为2．5s，是一种功耗低、灵敏度高、稳定性好的微结构乙醇气体传感器．

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