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硅铝合金非常难以进行切削加工,金刚石刀具被认为是当前切削该类材料的最好工具。考虑到高附着力和好的表面形貌对化学气相沉积（CVD）金刚石涂层的应用具有重要影响,提出了基于热丝化学气相沉积（HFCVD）方法的多层膜技术,并在氮化硅刀具上沉积出多层膜结构的金刚石涂层,微米金刚石（MCD）/纳米金刚石（NCD）结构。为了与多层膜金刚石涂层进行比较,同时制备出单层MCD和NCD涂层。采用场发射电镜（FE-SEM）和拉曼光谱对沉积的金刚石薄膜进行表征。研究了有沉积金刚石涂层和没有涂层的刀具车削硅铝合金的切削性能。结果