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电子束蒸镀装置中，离子镀装置被用于MgO膜形成工艺中。以前，MgO膜是通过电子束(EB)蒸镀法而形成的，近期涌现出了采用离子镀法成膜的PDP厂商。这里，将一并介绍电子蒸镀装置和离子镀装置
PDP用电子束蒸镀装置
【摘 要】
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电子束蒸镀装置中，离子镀装置被用于MgO膜形成工艺中。以前，MgO膜是通过电子束(EB)蒸镀法而形成的，近期涌现出了采用离子镀法成膜的PDP厂商。这里，将一并介绍电子蒸镀装置和离子
【机 构】
：
彩虹集团彩管一厂
【出 处】
：
显示器件技术
【发表日期】
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2004年3期
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