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表面层型半导体陶瓷电容器的开发成功,是我国新型元件领域中的一项高新技术及其产业化的突破.重点介绍了表面层型半导体陶瓷电容器的基本结构和原理.本项目开发创新成果:隧道式气氛烧结组合炉,还原气氛的获取,半导化及再氧化技术,工程中设计参数及氧化层厚度观察及量测技术等.
表面层型半导体陶瓷电容器的开发及产业化
【摘 要】
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表面层型半导体陶瓷电容器的开发成功,是我国新型元件领域中的一项高新技术及其产业化的突破.重点介绍了表面层型半导体陶瓷电容器的基本结构和原理.本项目开发创新成果:隧道
【机 构】
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东莞宏明南方电子陶瓷有限公司,东莞,523077
【出 处】
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材料导报
【发表日期】
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2000年9期
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